下载适于平面基底的阳极氧化铝模板贴合装置及方法的技术资料

文档序号:41576722

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本发明涉及纳米结构制备领域,提供一种适于平面基底的阳极氧化铝模板贴合装置及方法,阳极氧化铝模板贴合装置包括:凹模,凹模上设有第一盲孔,第一盲孔的孔口适于通过阳极氧化铝模板覆盖,第一盲孔的孔底设有用于容纳基底并为基底定位的第二盲孔,第二盲孔的...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。

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