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本技术属于半导体涂胶工艺领域，具体地说是一种涂胶机胶嘴冲洗结构，包括盒体及盒盖，盒体具有溶剂留存槽、溶剂溢流口及阻挡边沿，盒盖具有胶嘴停留存放口、冲洗液流道、冲洗液加注孔、冲洗液喷出孔及保湿液加注孔。本技术通过具有溶剂留存槽、溶剂溢流口及阻...
该专利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备股份有限公司授权不得商用。

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