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本申请公开一种硅片承载装置,所公开的硅片承载装置包括承载篮和压盖,承载篮具有内腔、开口和多个穿孔,内腔用于容纳硅片,开口和多个穿孔均与内腔连通,且均贯穿承载篮的外表面,承载篮的至少部分内壁上间隔地设有多个卡槽,多个硅片分别插接于多个卡槽中,...该专利属于淮安捷泰新能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过淮安捷泰新能源科技有限公司授权不得商用。
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本申请公开一种硅片承载装置,所公开的硅片承载装置包括承载篮和压盖,承载篮具有内腔、开口和多个穿孔,内腔用于容纳硅片,开口和多个穿孔均与内腔连通,且均贯穿承载篮的外表面,承载篮的至少部分内壁上间隔地设有多个卡槽,多个硅片分别插接于多个卡槽中,...