硅片承载装置制造方法及图纸

本申请公开一种硅片承载装置，所公开的硅片承载装置包括承载篮和压盖，承载篮具有内腔、开口和多个穿孔，内腔用于容纳硅片，开口和多个穿孔均与内腔连通，且均贯穿承载篮的外表面，承载篮的至少部分内壁上间隔地设有多个卡槽，多个硅片分别插接于多个卡槽中，且卡槽的侧壁与硅片之间具有第一间隙，压盖可拆卸地安装于开口，且压紧每个硅片，以使每个硅片相对的两端分别与压盖和承载篮的内底壁抵接。上述方案能解决相关技术涉及的硅片承载装置存在硅片的部分浸蚀面被夹紧结构夹紧难以被药液浸蚀而影响硅片的工艺效果的问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于光伏组件制造设计，具体涉及一种硅片承载装置。

技术介绍

1、硅片承载装置是一种承载硅片的装置。在硅片的腐蚀工艺中，通过在硅片承载装置中间隔地设置多个卡槽，使多个硅片通过多个卡槽而间隔地放置在硅片承载装置中，从而使得药液能够浸蚀每个硅片，以提高工艺效率。同时，设置卡槽夹紧硅片，避免硅片在工艺过程中发生晃动而导致硅片容易破损。但是，此种结构中硅片被夹紧时，硅片的端部与卡槽的底壁相对，硅片的浸蚀面与卡槽的侧壁相对，这使得硅片的部分浸蚀面与卡槽的侧壁紧密地贴合在一起而难以被药液浸蚀，从而导致硅片的浸蚀面难以被全部浸蚀，影响工艺效果。

技术实现思路

1、本技术公开一种硅片承载装置，以解决相关技术涉及的硅片承载装置存在硅片的部分浸蚀面被夹紧结构夹紧难以被药液浸蚀而影响硅片的工艺效果的问题。

2、为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：

3、一种硅片承载装置，包括承载篮和压盖，其中，

4、所述承载篮具有内腔、开口和多个穿孔，所述内腔用于容纳硅片，所述开口和多个所述穿孔均与所述内腔连通，且均贯穿所述承载篮的外表面，所述承载篮的至少部分内壁上间隔地设有多个卡槽，多个所述硅片分别插接于多个所述卡槽中，且所述卡槽的侧壁与所述硅片之间具有第一间隙，

5、所述压盖可拆卸地安装于所述开口，且压紧每个所述硅片，以使每个所述硅片相对的两端分别与所述压盖和所述承载篮的内底壁抵接。

6、本技术采用的技术方案能够达到以下技术效果：

7、本申请实施例公开的硅片承载装置，通过对相关技术涉及的硅片承载装置的结构进行改进，通过设置压盖，并通过在承载篮的至少部分内壁上间隔地设置多个卡槽，使多个硅片分别插接于承载篮的内腔的多个卡槽中，以使多个硅片能够间隔地分布在内腔中，又通过在卡槽的侧壁与硅片之间设置第一间隙，避免卡槽的侧壁与硅片的部分浸蚀面紧密贴合，同时，设置压盖可拆卸地安装于承载篮的开口处时能压紧每个硅片，从而使每个硅片相对的两端分别与压盖和承载篮的内底壁抵接，又通过在承载篮上设置多个穿孔，使开口和多个穿孔均与内腔连通并均贯穿承载篮的外表面，以使药液能够通过穿孔和开口进入内腔对硅片进行浸蚀。在此种结构中，卡槽的侧壁与硅片之间的第一间隙使卡槽不会夹紧硅片，避免硅片的部分浸蚀面与卡槽的侧壁紧密地贴合在一起，而导致硅片的部分浸蚀面难以被药液浸蚀，同时，硅片相对的两端分别与压盖和承载篮的内底壁抵接，从而能够在实现硅片固定的同时避免影响硅片的浸蚀面，使得硅片在被固定的同时其浸蚀面能够全部被浸蚀，尽量避免影响硅片的工艺效果。

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【技术保护点】

1.一种硅片承载装置，其特征在于，包括承载篮(100)和压盖(200)，

2.根据权利要求1所述的硅片承载装置，其特征在于，所述压盖(200)包括压盖本体(210)、第一安装板(220)和螺纹杆(230)，所述第一安装板(220)可拆卸地安装于所述开口(120)，所述第一安装板(220)具有凹槽(221)和螺纹孔(222)，所述凹槽(221)与所述内腔(110)相对，所述压盖本体(210)活动地设于所述凹槽(221)中，所述螺纹孔(222)与所述凹槽(221)连通，且与所述螺纹杆(230)螺纹配合，通过转动所述螺纹杆(230)可使所述压盖(200)在压紧状态和解压状态之间转换，

3.根据权利要求2所述的硅片承载装置，其特征在于，所述压盖(200)还包括滑块，所述第一安装板(220)具有第一凸起(223)，所述第一凸起(223)设于所述第一安装板(220)相对的两端，且形成所述凹槽(221)的侧壁，所述滑块固定于所述第一凸起(223)，所述承载篮(100)具有滑槽(150)，所述滑槽(150)设于所述承载篮(100)相对的侧壁上，所述滑槽(150)的两端分别贯穿所述承载篮(100)侧壁的内表面和外表面，

4.根据权利要求3所述的硅片承载装置，其特征在于，所述滑块为梯形滑块。

5.根据权利要求2所述的硅片承载装置，其特征在于，所述螺纹杆(230)包括螺纹杆本体(231)和旋转操作手柄(232)，所述螺纹杆本体(231)与所述螺纹孔(222)螺纹配合，所述旋转操作手柄(232)固定于所述螺纹杆本体(231)背离所述承载篮(100)的内底壁的端部。

6.根据权利要求2所述的硅片承载装置，其特征在于，所述第一安装板(220)具有导向孔(224)，所述压盖本体(210)具有导向杆(211)，所述导向杆(211)沿所述导向孔(224)的贯穿方向与所述导向孔(224)滑动配合。

7.根据权利要求6所述的硅片承载装置，其特征在于，所述导向孔(224)和所述导向杆(211)均为多个，多个所述导向杆(211)一一对应地与多个所述导向孔(224)滑动配合。

8.根据权利要求1所述的硅片承载装置，其特征在于，所述承载篮(100)具有第二安装板(160)、第三安装板(170)和连杆(180)，所述连杆(180)包括第一连杆(181)、第二连杆(182)、第三连杆(183)和多个第二凸起(184)，

9.根据权利要求8所述的硅片承载装置，其特征在于，所述第一连杆(181)、所述第二连杆(182)和所述第三连杆(183)均为多个，所述第二凸起(184)间隔且均匀地固定在所述第一连杆(181)、所述第二连杆(182)和所述第三连杆(183)上。

10.根据权利要求8所述的硅片承载装置，其特征在于，所述第二凸起(184)为三角形凸起。

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【技术特征摘要】

1.一种硅片承载装置，其特征在于，包括承载篮(100)和压盖(200)，

2.根据权利要求1所述的硅片承载装置，其特征在于，所述压盖(200)包括压盖本体(210)、第一安装板(220)和螺纹杆(230)，所述第一安装板(220)可拆卸地安装于所述开口(120)，所述第一安装板(220)具有凹槽(221)和螺纹孔(222)，所述凹槽(221)与所述内腔(110)相对，所述压盖本体(210)活动地设于所述凹槽(221)中，所述螺纹孔(222)与所述凹槽(221)连通，且与所述螺纹杆(230)螺纹配合，通过转动所述螺纹杆(230)可使所述压盖(200)在压紧状态和解压状态之间转换，

3.根据权利要求2所述的硅片承载装置，其特征在于，所述压盖(200)还包括滑块，所述第一安装板(220)具有第一凸起(223)，所述第一凸起(223)设于所述第一安装板(220)相对的两端，且形成所述凹槽(221)的侧壁，所述滑块固定于所述第一凸起(223)，所述承载篮(100)具有滑槽(150)，所述滑槽(150)设于所述承载篮(100)相对的侧壁上，所述滑槽(150)的两端分别贯穿所述承载篮(100)侧壁的内表面和外表面，

4.根据权利要求3所述的硅片承载装置，其特征在于，所述滑块为梯形滑块。

5.根据权利要求2所述的硅片承载装置，其特征在于，所述螺纹杆(230)包括螺纹杆本体(...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭祥泰，黄明，周磊，蒲卓林，霍文婷，
申请(专利权)人：淮安捷泰新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：