温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本技术涉及热场装置技术领域，且公开了一种用于碳化硅晶体生长的热场装置，包括安装底座，所述安装底座的顶部一侧开设有安装槽，所述安装底座的正面设有转动机构，所述转动机构包括电机安装座，所述电机安装座的顶部设有驱动电机，所述驱动电机的一端设有第一...该专利属于哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司授权不得商用。