一种用于碳化硅晶体生长的热场装置制造方法及图纸

本技术涉及热场装置技术领域，且公开了一种用于碳化硅晶体生长的热场装置，包括安装底座，所述安装底座的顶部一侧开设有安装槽，所述安装底座的正面设有转动机构，所述转动机构包括电机安装座，所述电机安装座的顶部设有驱动电机，所述驱动电机的一端设有第一转轴，所述驱动电机的输出端与第一转轴传动连接，所述第一转轴远离驱动电机的一端设有固定连接有第一锥形齿，所述第一锥形齿的一侧啮合有第二锥形齿，所述第二锥形齿的顶部固定连接有第二转轴，所述第二转轴的顶部固定连接有转动盘，本技术通过设有转动机构，便于加热筒内部的原料受热更加均匀，有利于提高碳化硅晶体加热成型的质量和效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及热场装置，更具体地涉及一种用于碳化硅晶体生长的热场装置。

技术介绍

1、碳化硅单晶具有高导热率、高击穿电压、载流子迁移率极高和化学稳定性很高等优良的半导体物理性质，可以制作成在高温和强辐射条件下工作的高频、高功率电子器件和光电子器件，在国防、高科技、工业生产、供电和变电领域有巨大的应用价值，被看作是极具发展前景的第三代宽禁带半导体材料。

2、目前市场上的碳化硅晶体生长热场装置多种多样，但是普遍上存在结晶质量低的缺点，在生长热场装置的内部，现有的碳化硅晶体生长的热场装置的加热筒不便于在使用后进行清洗，影响了使用者清洗的效率，使得热场装置不能尽快恢复使用，其次，现有的碳化硅晶体生长的热场装置在加热不均匀，对晶体生长成型产生影响，不仅导致加热成型效率低，而且导致成型质量较低。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷，本技术提供了一种用于碳化硅晶体生长的热场装置，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。

2、本技术提供如下技术方案：一种用于碳化硅晶体生长的热场装置，包括安装底座，所述安装底座的顶部一侧开设有安装槽，所述安装底座的正面设有转动机构，所述转动机构包括电机安装座，所述电机安装座的顶部设有驱动电机，所述驱动电机的一端设有第一转轴，所述驱动电机的输出端与第一转轴传动连接，所述第一转轴远离驱动电机的一端设有固定连接有第一锥形齿，所述第一锥形齿的一侧啮合有第二锥形齿，所述第二锥形齿的顶部固定连接有第二转轴，所述第二转轴的顶部固定连接有转动盘，所述转动盘的顶部设有固定柱，所述固定柱的顶部设有加热筒，所述加热筒的顶部设有清刷机构，所述安装底座的顶部另一侧设有清洗机构。

3、进一步的，所述加热筒包括加热筒体，所述加热筒体的底部固定连接在固定柱的顶部，所述加热筒体的顶部设有加热筒盖，所述加热筒盖的顶部一侧固定连接有连接卡板。

4、进一步的，所述清洗机构包括清洗液存储箱，所述清洗液存储箱的内腔底部设有增压泵，所述增压泵的顶部设有进水管，所述清洗液存储箱的顶部设有箱盖，所述进水管远离箱盖的一端设有单向阀门，所述进水管的另一端固定连接有软水管，所述软水管的另一端固定连接有喷嘴。

5、进一步的，所述清刷机构包括电动缸，所述电动缸的底部设有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部设有旋转电机，所述旋转电机的底部设有第三转轴，所述旋转电机的输出轴与第三转轴传动连接，所述第三转轴的底部固定连接有转动板，所述转动板的两侧均固定连接有清洗毛刷。

6、进一步的，所述安装底座的底部四角均固定连接有支撑柱，所述支撑柱的底部固定连接有防滑垫。

7、进一步的，所述固定柱的数量为三个，且沿着转动盘的中心点均匀等距分布。

8、进一步的，所述第一锥形齿的外齿与第二锥形齿的外齿相互适配。

9、本技术的技术效果和优点：

10、1.本技术通过设有转动机构，通过启动驱动电机，驱动电机带动第一转轴转动，第一转轴带动第一锥形齿转动，第一锥形齿带动第二锥形齿转动，第二锥形齿带动第二转轴转动，第二转轴带动转动盘转动，进而带动固定在固定柱顶部的加热筒转动，便于加热筒内部的原料受热更加均匀，有利于提高碳化硅晶体加热成型的质量和效率。

11、2.本技术通过设有清洗机构和清刷机构，通过启动增压泵，打开单向阀门，从而使得清洗液存储箱内的清洗液进入到进水管中，进而进入到软水管中，最后通过喷嘴对加热筒的内壁进行喷洒清洗，进而通过启动电动缸，电动缸带动电动伸缩杆升降，同时启动旋转电机，旋转电机带动第三转轴转动，进而带动固定在转动板两侧的清洗毛刷转动，便于对加热筒体的内腔壁进行清洗，操作便捷，有利于快速对加热筒体进行清洗，方便尽快使用，提高了碳化硅晶体加热成型的效率，进而提高了装置的实用性。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于碳化硅晶体生长的热场装置，包括安装底座(1)，其特征在于：所述安装底座(1)的顶部一侧开设有安装槽(8)，所述安装底座(1)的正面设有转动机构(2)，所述转动机构(2)包括电机安装座(201)，所述电机安装座(201)的顶部设有驱动电机(202)，所述驱动电机(202)的一端设有第一转轴(203)，所述驱动电机(202)的输出端与第一转轴(203)传动连接，所述第一转轴(203)远离驱动电机(202)的一端设有固定连接有第一锥形齿(204)，所述第一锥形齿(204)的一侧啮合有第二锥形齿(205)，所述第二锥形齿(205)的顶部固定连接有第二转轴(206)，所述第二转轴(206)的顶部固定连接有转动盘(207)，所述转动盘(207)的顶部设有固定柱(208)，所述固定柱(208)的顶部设有加热筒(4)，所述加热筒(4)的顶部设有清刷机构(5)，所述安装底座(1)的顶部另一侧设有清洗机构(3)。

2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶体生长的热场装置，其特征在于：所述加热筒(4)包括加热筒体(401)，所述加热筒体(401)的底部固定连接在固定柱(208)的顶部，所述加热筒体(401)的顶部设有加热筒盖(402)，所述加热筒盖(402)的顶部一侧固定连接有连接卡板(403)。

3.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶体生长的热场装置，其特征在于：所述清洗机构(3)包括清洗液存储箱(301)，所述清洗液存储箱(301)的内腔底部设有增压泵(302)，所述增压泵(302)的顶部设有进水管(303)，所述清洗液存储箱(301)的顶部设有箱盖(304)，所述进水管(303)远离箱盖(304)的一端设有单向阀门(307)，所述进水管(303)的另一端固定连接有软水管(305)，所述软水管(305)的另一端固定连接有喷嘴(306)。

4.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶体生长的热场装置，其特征在于：所述清刷机构(5)包括电动缸(501)，所述电动缸(501)的底部设有电动伸缩杆(502)，所述电动伸缩杆(502)的底部设有旋转电机(503)，所述旋转电机(503)的底部设有第三转轴(504)，所述旋转电机(503)的输出轴与第三转轴(504)传动连接，所述第三转轴(504)的底部固定连接有转动板(505)，所述转动板(505)的两侧均固定连接有清洗毛刷(506)。

5.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶体生长的热场装置，其特征在于：所述安装底座(1)的底部四角均固定连接有支撑柱(6)，所述支撑柱(6)的底部固定连接有防滑垫(7)。

6.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶体生长的热场装置，其特征在于：所述固定柱(208)的数量为三个，且沿着转动盘(207)的中心点均匀等距分布。

7.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶体生长的热场装置，其特征在于：所述第一锥形齿(204)的外齿与第二锥形齿(205)的外齿相互适配。

...

【技术特征摘要】

1.一种用于碳化硅晶体生长的热场装置，包括安装底座(1)，其特征在于：所述安装底座(1)的顶部一侧开设有安装槽(8)，所述安装底座(1)的正面设有转动机构(2)，所述转动机构(2)包括电机安装座(201)，所述电机安装座(201)的顶部设有驱动电机(202)，所述驱动电机(202)的一端设有第一转轴(203)，所述驱动电机(202)的输出端与第一转轴(203)传动连接，所述第一转轴(203)远离驱动电机(202)的一端设有固定连接有第一锥形齿(204)，所述第一锥形齿(204)的一侧啮合有第二锥形齿(205)，所述第二锥形齿(205)的顶部固定连接有第二转轴(206)，所述第二转轴(206)的顶部固定连接有转动盘(207)，所述转动盘(207)的顶部设有固定柱(208)，所述固定柱(208)的顶部设有加热筒(4)，所述加热筒(4)的顶部设有清刷机构(5)，所述安装底座(1)的顶部另一侧设有清洗机构(3)。

2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶体生长的热场装置，其特征在于：所述加热筒(4)包括加热筒体(401)，所述加热筒体(401)的底部固定连接在固定柱(208)的顶部，所述加热筒体(401)的顶部设有加热筒盖(402)，所述加热筒盖(402)的顶部一侧固定连接有连接卡板(403)。

3.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶体生长的热场装置，其特征在于：所述清洗机构(3)包括清洗液存储箱(301)，所述清洗液存储箱(30...

【专利技术属性】
技术研发人员：张胜涛，赵丽丽，
申请(专利权)人：哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：