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本发明的实施例提供了一种自修正晶圆切割组件和晶圆切割装置，涉及晶圆切割技术领域，该自修正晶圆切割组件包括刀座、环状刀具和膨胀器，刀座用于固定在外部驱动座上，并设置有刀具安装台；环状刀具套设在刀具安装台上；膨胀器设置在刀具安装台上，并位于环状...
该专利属于上海共进微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海共进微电子技术有限公司授权不得商用。

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