下载一种真空系统的优化方法的技术资料

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本发明涉及一种真空系统的优化方法该方法包括以下步骤:设置高速离心风机,在高速离心风机底部设置有驱动稳定台,驱动稳定台用以辅助高速离心风机架设,确保驱动稳定台安装后支撑平面的平面度小于或等于0.15mm;在高速离心风机与驱动稳定台安装后依次连...
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