下载一种光学晶圆切割裂片承载装置的技术资料

文档序号:41570026

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本技术提供一种光学晶圆切割裂片承载装置,承载台的上表面水平放置且用于固定待处理的光学晶圆,承载台的下表面的边缘区域与承载底座的上表面的边缘区域接触,承载底座的上表面在靠近边缘区域位置开设第一凹槽,在承载台的下表面的边缘区域与承载底座的上表面...
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