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本发明提供一种基于散斑干涉的高灵敏度镜面变形测量系统及方法，涉及一种光学测量系统，包括成像元件，还包括激光器；第一分光棱镜，用于将激光器产生的激光束分为反射光和透射光；所述透射光穿过投影镜并被偏振分光平片和待测光滑表面依次反射后照射在粗糙表...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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