【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光学测量系统，具体涉及一种基于散斑干涉的高灵敏度镜面变形测量系统及方法。
技术介绍
1、光学元件中光滑表面的面型精度对于高精度光学系统至关重要。而装配应力、环境温度等因素会导致面型的变化。因此，准确测量光学元件光滑表面在装配过程中及使用环境下的面型变化具有重要意义。
2、采用干涉仪在变形前后对光学元件分别进行高精度面形测量，相比较后可获得高精度表面变形参数。现有干涉仪主要包括泰曼格林干涉仪、迈克尔逊干涉仪和菲索干涉仪等结构形式，可以达到很高的测量精度。
3、然而干涉仪虽然精度高，但影响精度的因素较多。因激光干涉仪的测量原理是测量被测光学元件与参考光学元件的面形差值，而面形差值是以相位也就是条纹图的形式表现的。首先，为了保证测量的准确性，参考光学元件的表面精度必须高于被测元件的表面精度，这意味着越高的测量精度需要越高精度的参考光学表面，无疑极大的提升了测量系统的成本；其次，参考光学元件必须在一定程度上与被测光学元件匹配，否则由于两者面形差值引起的光程差过大，导致相位条纹密度过大难以解算出面形差值。...
【技术保护点】
1.一种基于散斑干涉的高灵敏度镜面变形测量系统，包括成像元件，其特征在于，还包括激光器；
2.根据权利要求1所述的一种基于散斑干涉的高灵敏度镜面变形测量系统，其特征在于，还包括第二反射镜，用于将所述激光束反射给第一分光棱镜。
3.根据权利要求2所述的一种基于散斑干涉的高灵敏度镜面变形测量系统，其特征在于，还包括准直扩束镜，设于第二反射镜与第一分光棱镜之间；
4.根据权利要求1所述的一种基于散斑干涉的高灵敏度镜面变形测量系统，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的一种基于散斑干涉的高灵敏度镜面变形测量系统，其特征在
...【技术特征摘要】
1.一种基于散斑干涉的高灵敏度镜面变形测量系统，包括成像元件，其特征在于，还包括激光器；
2.根据权利要求1所述的一种基于散斑干涉的高灵敏度镜面变形测量系统，其特征在于，还包括第二反射镜，用于将所述激光束反射给第一分光棱镜。
3.根据权利要求2所述的一种基于散斑干涉的高灵敏度镜面变形测量系统，其特征在于，还包括准直扩束镜，设于第二反射镜与第一分光棱镜之间；
4.根据权利要求1所述的一种基于散斑干涉的高灵敏度镜面变形测量系统，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的一种基于散斑干涉的高灵敏度镜面变形测量系统，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求5所述的一种基于散斑干涉的高灵敏度镜面变形测量...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫佩正，周寒萱，刘向玮，丁墨函，王永红，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。