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本发明涉及一种精密光学元件表面缺陷复合检测装置及方法，装置包括第一白光光源和第二白光光源、结构光光源、照明镜头、半透半反镜、显微物镜、待测光学元件、样品放置平台、成像镜头和彩色相机；方法包括步骤：1)使用白光光源和彩色相机对光学元件分别进行...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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