温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及化学气相沉积以及原子层沉积设备技术领域，公开了一种固体前驱体蒸汽输送系统，包括瓶体、盖体、阀门组件以及限流板，所述盖体安装于所述瓶体上方，所述盖体上设有和所述瓶体内部连通的进气管道、出气管道以及进料口，所述进气管道和所述出气管道之...
该专利属于广东先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导微电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。