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一种周期性金属纳米中空火山口结构模板及其制备方法和应用技术
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文档序号:41560102
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本发明属于有序微纳结构制备技术领域,具体涉及一种周期性金属纳米中空火山口结构模板及其制备方法和应用。本发明得到镀有金属膜层的基底后,在其上进行光刻处理,得到具有周期性结构的衬底。随后对该衬底进行反应离子刻蚀和去胶,即可得到周期较好的纳米火山...
该专利属于杭州邦齐州科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州邦齐州科技有限公司授权不得商用。
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