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偏振分光的共路空间相移双通道数字全息三维层析系统技术方案
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文档序号:41559892
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本发明涉及偏振分光的共路空间相移双通道数字全息三维层析系统,其包括依次设置的部分相干光源模块、测量光波预置模块、角度扫描与显微成像模块、参物光分离模块、双通道相移干涉图采集模块和三维层析处理器;本系统将共路系统与双通道系统有序结合,在整个系...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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