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本技术公开了一种用于CP测试的高精度四轴驱动结构，包括：第一大理石基座、第二大理石基座、X轴托板、Z轴托板、θ轴托板以及旋转盘，六者之间形成有X、Y、Z三个平移运动轴以及一个绕Z轴旋转的旋转运动轴；对于大尺寸的基座，采用大理石制成，对于尺寸...
该专利属于迈科微纳半导体技术（昆山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈科微纳半导体技术（昆山）有限公司授权不得商用。

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