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本发明公开了一种亚表面缺陷检测系统及方法。本发明的亚表面缺陷检测系统中，激励信号发生模块发生激振带动微悬臂梁结构振动，微悬臂梁结构在振动过程中，能够与被测样品接触，被测样品与微悬臂梁结构间的作用力影响经微悬臂梁结构反射至光信号接收模块的光信...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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