【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光纤传感，尤其涉及一种亚表面缺陷检测系统及方法。
技术介绍
1、近年来，随着加工制造技术的迅速发展，对材料的构件表面与亚表面的质量要求越来越高。为了制造一个高质量的零件，需要对由机械加工对材料的构件表面与亚表面引起的表面缺陷进行检测，尤其是亚表面的表面缺陷，其在生产加工过程中，常被涂抹层所覆盖。
2、目前，在对材料的亚表面进行缺陷检测时，检测方式包括有人工检测与设备检测，其中，人工检测方式基于人眼直接观察和判断，其检测结果受主观意识、人员视觉疲劳以及注意力等因素的影响，容易产生误判，因此，设备检测已成为材料的构件的亚表面进行表面缺陷检测最常用的检测方式。在设备检测方式中，包括有超声波探伤检测、红外线缺陷检测、漏磁缺陷检测、激光缺陷检测以及光学机器视觉缺陷检测等，上述探伤检测方式虽然可对材料的亚表面的缺陷进行有效检测，但是其组成的检测系统复杂，尤其在一些利用光学检测原理进行亚表面缺陷检测时，需要大量的光学器件，导致成本变高，另外，由于其检测系统复杂，因此，在检测过程中，操作复杂。
3、因此，现有技术还...
【技术保护点】
1.一种亚表面缺陷检测系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的亚表面缺陷检测系统，其特征在于，所述光纤包括：单模光纤，所述单模光纤的入射端与所述第二端口连接，所述微悬臂梁结构设于所述单模光纤的出射端。
3.根据权利要求1所述的亚表面缺陷检测系统，其特征在于，所述微悬臂梁结构包括：基座、用于反射所述光纤出射的光信号的悬臂梁以及探针；
4.根据权利要求1所述的亚表面缺陷检测系统，其特征在于，光信号发射模块包括：可调谐激光器，所述可调谐激光器与所述第一端口连接。
5.根据权利要求1所述的亚表面缺陷检测系统，其特征在于...
【技术特征摘要】
1.一种亚表面缺陷检测系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的亚表面缺陷检测系统，其特征在于，所述光纤包括：单模光纤，所述单模光纤的入射端与所述第二端口连接，所述微悬臂梁结构设于所述单模光纤的出射端。
3.根据权利要求1所述的亚表面缺陷检测系统，其特征在于，所述微悬臂梁结构包括：基座、用于反射所述光纤出射的光信号的悬臂梁以及探针；
4.根据权利要求1所述的亚表面缺陷检测系统，其特征在于，光信号发射模块包括：可调谐激光器，所述可调谐激光器与所述第一端口连接。
5.根据权利要求1所述的亚表面缺陷检测系统，其特征在于，所述光信号接收模块包括：光电探测器；...
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