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本发明提供激光干涉仪，具备不使用衍射光栅就能够使激光发生频移的光调制器，实现了低成本化。该激光干涉仪其特征在于，具备：激光光源，向对象物射出激光；光调制器，具备被照射激光的振动元件，该光调制器使用振动元件对激光进行调制，使调制信号与激光重叠...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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