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控制由闸阀连接的两个密封室之间的压差以准备闸阀打开事件的系统和方法。如果需要，这种系统和方法可以调节至少一个室中的气体压力，直到两个室之间的压差处于预定压差水平。在一些更具体示例中，一个室可以构成衬底处理室，另一个室可以构成反应室(例如用于...
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