下载基板传送装置和基板传送方法的技术资料

文档序号:41534963

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本发明涉及一种基板传送装置和基板传送方法,该基板传送装置包括行进轨道,该行进轨道包括直线段和曲线段;滚道结构,该滚道结构设置在该行进轨道上并配置为固定行进轨道;行进设备,该行进设备包括配置为在该行进轨道上移动以便传送基板的行进轮;第一传感器...
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