下载一种基于2×2微环开关阵列的光逻辑器件的技术资料

文档序号:41534145

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种基于2×2微环开关阵列的光逻辑器件,属于光学逻辑计算领域。从下至上由Si衬底、SiO<subgt;2</subgt;下包层、Si芯层、SiO<subgt;2</subgt;上包层和金属电极组成;Si芯层由4个带硅...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。