下载基于受控空穴抽取结构的超结IGBT器件及其制作方法的技术资料

文档序号:41533905

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本发明公开了一种基于受控空穴抽取结构的超结I GBT器件及其制作方法,超结I GBT器件包括在外延层中周期性排布的P柱和N柱,所述N柱的上方设置有P型基区,所述P型基区包括以矩形阵列的形式排布的第一P型基区,所述P柱包括第一P柱和第二P柱;...
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