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一种电磁场驱动晶圆级LED芯片的无接触检测装置及方法制造方法及图纸
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下载一种电磁场驱动晶圆级LED芯片的无接触检测装置及方法的技术资料
文档序号:41533730
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本发明公开了一种电磁场驱动晶圆级LED芯片的无接触检测装置及方法,无接触检测装置包括:检测基板;检测基板上方设置有探头基板,探头基板上设置有磁探头阵列,磁探头阵列包括多个磁探头,磁探头分别与行电极和列电极进行电连接,行电极和行信号控制器进行...
该专利属于闽都创新实验室所有,仅供学习研究参考,未经过闽都创新实验室授权不得商用。
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