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本发明涉及一种破碎晶圆回收处理的加工工艺，所述加工工艺，包括以下步骤：制备一个圆环，并在圆环的一面粘贴UV膜，以得到贴膜圆环；在破碎晶圆正面粘贴研磨胶纸，以得到贴纸破碎晶圆；将贴纸破碎晶圆正面粘贴于UV膜上，以使贴膜圆环环绕于贴纸破碎晶圆，...
该专利属于东莞忆联信息系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞忆联信息系统有限公司授权不得商用。

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