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本发明提供一种集成微型光学电磁传感系统，涉及电场传感技术领域。集成微型光学电磁传感系统包括制冷器、金属热沉、硅基底、激光器芯片、第一光电探测器芯片和波导耦合器；金属热沉固定在制冷器上，硅基底、激光器芯片和第一光电探测器芯片固定在金属热沉上；...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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