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本申请实施例提供一种感应器件、电子设备及感应器件的制备方法，涉及半导体器件技术领域，可提高检测精度、线性度和检测结果的准确性，降低校准难度。感应器件包括：衬底层；第一腔体，包括至少两个导电侧壁，导电侧壁在垂直于衬底层的方向上延伸，至少两个导...
该专利属于北京京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京东方光电科技有限公司授权不得商用。

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