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本发明旨在提供能够防止由于处理液的烟雾(Fume)而管道堵塞的现象的基板处理装置、其工作方法以及光学涂布设备。根据本发明的基板处理装置向基板供应处理液来执行工艺处理，所述基板处理装置包括：基板支承单元，支承所述基板；液供应单元，向所述基板供...
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。

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