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本发明提供工件研磨速率的响应性概况的制作方法、研磨方法以及研磨装置，能够准确地取得研磨速率相对于将晶片等工件向研磨垫按压的压力的变化的响应性。在本方法中，使用模拟来制作推定研磨速率响应性概况，该推定研磨速率响应性概况表示研磨速率相对于研磨头...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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