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本申请公开一种电子器件的制备方法及电子器件，涉及微电子技术领域，能够提高电子器件的电学性能。电子器件的制备方法包括：在硅片的一侧设置压电层，其中，压电层包括至少两层堆叠设置的压电薄膜层；在压电层远离硅片的一侧设置保护层；依次对保护层和至少一...
该专利属于赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司授权不得商用。

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