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本发明提供一种吸盘颗粒污染的检测方法及系统，所述吸盘颗粒污染的检测方法包括：将一形成有光刻胶的硅片置于吸盘上，执行曝光工艺，以在所述光刻胶上形成测试图形；确定所述测试图形中的吸盘颗粒污染区域，测量所述吸盘颗粒污染区域中若干个子区域的宽度，并...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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