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一种基于范德华界面耦合实现二维半导体p型掺杂的方法技术
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下载一种基于范德华界面耦合实现二维半导体p型掺杂的方法的技术资料
文档序号:41523674
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本发明属于微纳米器件、二维电子器件以及半导体集成电路技术领域,具体涉及一种基于范德华界面耦合实现二维半导体p型掺杂的方法。目前以元素置换掺杂或物理化学吸附等方式实现的掺杂往往存在工艺复杂、可靠性及稳定性差以及与目前的半导体工艺不兼容等问题,...
该专利属于山西大学所有,仅供学习研究参考,未经过山西大学授权不得商用。
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