温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种设备前端模块(EFEM)包括具有装载端口座和转移机器人座的框架组件。风扇过滤器单元由框架组件支撑，控制箱包围风扇过滤器单元并由风扇过滤器单元支撑。后面板具有隧道座，固定到框架组件，并通过转移机器人座与装载端口座分开。(a)具有内侧通孔的...
该专利属于ASMIP私人控股有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASMIP私人控股有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。