下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:41522740

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体结构的形成方法,其中形成方法包括:提供衬底;形成第一介质层、栅极结构、若干源漏掺杂层和若干第一导电层,若干源漏掺杂层分别位于栅极结构两侧的衬底内,第一导电层分别连接位于栅极结构同一侧的若干源漏掺杂层;在第一介质层上形成第二介质层;...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。