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本发明提供了一种化学法调控氮化硼外延薄膜厚度的方法，用于湿法刻蚀的h‑BN为高温感应加热法制备，其薄膜均匀且连续。使用三种不同刻蚀溶液（85%热磷酸，SPM溶液，APM溶液）对多层h‑BN进行化学法刻蚀调控氮化硼厚度。分别通过不同刻蚀温度，...
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