下载一种真空状态下硬质涂层连续镀膜装置及其使用方法的技术资料

文档序号:41521027

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本发明公开了一种真空状态下硬质涂层连续镀膜装置及其使用方法,包括主舱室,以及设置在主舱室内的靶台,且主舱室设置有观察窗,靶材更换舱室贯通连接在主舱室的一侧,且靶材更换舱室与主舱室之间设置有电动密封门Ⅰ;靶材输送机构,其设置在靶材更换舱室内;...
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