【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜装置，更具体的说，本专利技术涉及一种真空状态下硬质涂层连续镀膜装置及其使用方法。
技术介绍
1、硬质合金涂层具有高硬度和高耐磨性，以及良好的热稳定性和高温抗氧化性，作为表面改性涂层使用，能够显著提升刀具、轴承等基体零部件的使用性能，延长产品使用寿命，降低其更换频率，从而达到降本增效的目的，在精密加工、汽车及航天行业等工业领域均有非常广泛的应用前景。硬质合金涂层常用的制备方法有物理气相沉积、化学气相沉积等真空制备方法，制备过程在真空条件下进行。传统的涂层制备工艺，需要在大气环境下将阴极靶材安装真空室内，并将需要沉积涂层的基体样件安装在真空室中靶台上，之后再对真空室抽真空，进行镀膜，待镀膜过程完成后，将真空室内真空状态恢复至大气环境，更换阴极靶材及基体样件，准备下一次试验。
2、镀膜过程需要在真空环境下完成，但是阴极靶材为消耗品，需要定期更换，此外待镀膜基体工件完成镀膜过程后需要取出更换新工件，更换靶材和基体工件等准备性工作需要在大气环境下完成。以直径1000mm，高1000mm的真空室为例，采用机械泵、分子泵...
【技术保护点】
1.一种真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，包括主舱室，以及设置在所述主舱室内的靶台，且所述主舱室设置有观察窗，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，其特征在于，所述靶材更换舱室与所述主舱室贯通连接的方式为：
3.根据权利要求1所述的真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，其特征在于，所述电动密封门Ⅰ与所述电动密封门Ⅱ结构相同，所述电动密封门Ⅰ包括：
4.根据权利要求1所述的真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，其特征在于，所述靶材更换舱室的两侧分别设置有密封门Ⅰ，所述靶材输送机构包括：
5.根据权利要求1...
【技术特征摘要】
1.一种真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，包括主舱室，以及设置在所述主舱室内的靶台，且所述主舱室设置有观察窗，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，其特征在于，所述靶材更换舱室与所述主舱室贯通连接的方式为：
3.根据权利要求1所述的真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，其特征在于，所述电动密封门ⅰ与所述电动密封门ⅱ结构相同，所述电动密封门ⅰ包括：
4.根据权利要求1所述的真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，其特征在于，所述靶材更换舱室的两侧分别设置有密封门ⅰ，所述靶材输送机构包括：
5.根据权利要求1所述的真空状态下硬质涂层连续镀膜装置，其特征在于，所述基体更换舱室的两侧分别设置有密封门ⅱ，所述基体输送机构包括：
...【专利技术属性】
技术研发人员：赵凡，曾毅，杨攀，罗志全，朱舟，
申请(专利权)人：西南科技大学，
类型：发明
国别省市：
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