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本申请涉及高精度设备搬运技术领域，且公开了一种对光刻机设备的缓震搬运设备，包括包括运输箱，所述运输箱一侧铰连设置有门板，所述运输箱和所述门板相互靠近的一侧转动连接设置有电动伸缩杆，所述运输箱内壁一侧连接设置有固定结构，所述运输箱内壁顶端连接...
该专利属于上海科文斯集成微电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海科文斯集成微电有限公司授权不得商用。

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