一种对光刻机设备的缓震搬运设备制造技术

本申请涉及高精度设备搬运技术领域，且公开了一种对光刻机设备的缓震搬运设备，包括包括运输箱，所述运输箱一侧铰连设置有门板，所述运输箱和所述门板相互靠近的一侧转动连接设置有电动伸缩杆，所述运输箱内壁一侧连接设置有固定结构，所述运输箱内壁顶端连接设置有气缸二，所述气缸二底端连接设置有限位板，所述运输箱内壁底端连接设置有滑块，所述滑块顶端连接设置有底板一，所述底板一顶端连接设置有阻尼器，所述阻尼器顶端连接设置有底板二，所述阻尼器与所述底板二之间连接设置有缓冲气囊；本申请可以有效的减少设备在搬运过程中的震动，保证搬运设备的安全，提高设备的适用范围。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及高精度设备搬运，尤其是涉及一种对光刻机设备的缓震搬运设备。

技术介绍

1、光刻机又叫掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是制造芯片的核心装备。光刻，也被称为光学平版刻法或紫外光刻，是一种在薄膜或基板上对零件图形化的精密加工工艺。

2、光刻机是一种高精度的设备，在搬迁过程中容易受到震动导致设备发生故障，在设备发生震动无法很好的吸收动能，容易对设备造成二次损伤。

技术实现思路

1、为了解决设备在搬运过程中遇到的震动和动能吸收问题，本申请提供一种对光刻机设备的缓震搬运设备。

2、本申请提供的一种对光刻机设备的缓震搬运设备采用如下的技术方案：

3、一种对光刻机设备的缓震搬运设备，包括运输箱，所述运输箱一侧铰连设置有门板，所述运输箱和所述门板相互靠近的一侧转动连接设置有电动伸缩杆，所述运输箱内壁一侧连接设置有固定结构，所述运输箱内壁顶端连接设置有气缸二，所述气缸二底端连接设置有限位板，所述限位板一侧连接设置有橡胶缓冲垫，所述运输箱内壁底端连接设置有滑块，所述滑块顶端连接设本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种对光刻机设备的缓震搬运设备，包括运输箱（1），其特征在于：所述运输箱（1）内壁一侧连接设置有固定结构（4），所述运输箱（1）内壁顶端连接设置有气缸二（5），所述气缸二（5）底端连接设置有限位板（6），所述限位板（6）一侧连接设置有橡胶缓冲垫（7），所述运输箱（1）内壁底端连接设置有滑块（71），所述滑块（71）顶端连接设置有底板一（72），所述底板一（72）顶端连接设置有阻尼器（73），所述阻尼器（73）顶端连接设置有底板二（75），所述底板一（72）底端连接设置有辅助支撑轮（8），所述底板一（72）底端连接设置有齿轨（9），所述齿轨（9）一侧转动连接有丝杆（10），所述丝杆（1...

【技术特征摘要】

1.一种对光刻机设备的缓震搬运设备，包括运输箱（1），其特征在于：所述运输箱（1）内壁一侧连接设置有固定结构（4），所述运输箱（1）内壁顶端连接设置有气缸二（5），所述气缸二（5）底端连接设置有限位板（6），所述限位板（6）一侧连接设置有橡胶缓冲垫（7），所述运输箱（1）内壁底端连接设置有滑块（71），所述滑块（71）顶端连接设置有底板一（72），所述底板一（72）顶端连接设置有阻尼器（73），所述阻尼器（73）顶端连接设置有底板二（75），所述底板一（72）底端连接设置有辅助支撑轮（8），所述底板一（72）底端连接设置有齿轨（9），所述齿轨（9）一侧转动连接有丝杆（10），所述丝杆（10）一端贯穿所述运输箱（1）连接设置有皮带轮二（112），所述运输箱（1）一侧连接设置有驱动电机（11），所述驱动电机（11）输出端连接设置有皮带轮一（111），所述丝杆（10）和所述驱动电机（11）外侧套设连接设置有皮带（12）。

2.根据权利要求1所述的一种对光刻机设备的缓震搬运设备，其特征在于：所述固定结构（4）包括气缸一（41），所述气缸一（41）一端连接设置有支撑板（42），所述支撑板（42）一侧连接设置有支撑柱（43），所述支撑柱（43）相互靠近的一侧转动连接有压力辊（4...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志江，米嘉，严付根，朱钧钧，李峰，孙永国，王攀飞，喻建忠，朱林，吴丹，
申请(专利权)人：上海科文斯集成微电有限公司，
类型：新型
国别省市：