下载纳米压印涂胶方法,涂胶结构及纳米压印方法的技术资料

文档序号:41518116

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本发明公开了一种纳米压印涂胶方法,涂胶结构及纳米压印方法,采用静电喷涂的方式,通过与样品结构对应的图案化电极引导带静电的压印胶雾化微粒沉积,实现与样品结构对应的图案化涂胶,解决纳米压印过程中残胶不均匀的问题。...
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