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半导体材料用生产输送系统及工作方法技术方案
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文档序号:41517824
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本发明属于输送领域,本发明提供了一种半导体材料用生产输送系统及工作方法,其中,半导体材料用生产输送系统包括:上料机构、输送机构、抹匀工装以及固化机构;所述上料机构设置在所述输送机构的进料端;所述固化机构固定设置在所述输送机构上方;所述抹匀工...
该专利属于常州臣佑光伏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州臣佑光伏科技有限公司授权不得商用。
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