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本技术公开了一种光刻胶烘烤装置，属于半导体制造技术领域。光刻胶烘烤装置包括支架、加热组件、承托组件和支撑件。加热组件与支架之间相互连接，加热组件包括加热板，加热板上设置有电热丝，电热丝能够产生热量以烘烤晶圆表面的光刻胶，电热丝的宽度在1mm...
该专利属于上海众鸿半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海众鸿半导体设备有限公司授权不得商用。

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