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本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种等离子体源机构，该等离子体源机构包括：辅助线圈模块以及带有主线圈的主线圈模块；其中，辅助线圈模块内设置有用于产生辅助磁场的辅助线圈，主线圈用于产生交流磁场，且交流磁场与辅助磁场之间存在相互作用部分；辅助...
该专利属于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市恒运昌真空技术股份有限公司授权不得商用。

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