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本发明提供一种MEMS器件及MEMS器件的制备方法，MEMS器件包括器件晶圆以及连接器件晶圆的盖板组件，所述器件晶圆与盖板组件合围形成真空度不同的第一腔室和第二腔室，所述盖板组件包括连通外部环境与第一腔室的气流通道以及与气流通道相匹配的密封...
该专利属于苏州思萃车规半导体产业技术研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州思萃车规半导体产业技术研究所有限公司授权不得商用。

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