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本申请提供了一种灵活路由的派工方法和派工系统。自定义的灵活路由配置弥补了现有只可以绑定机台进行机台的派工(WhatNext派工)的缺陷，可应对晶圆派工(WhereNext派工)等更多派工场景，大大拓宽了派工系统的应用场景。晶圆厂系统管理人员...
该专利属于上海朋熙半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海朋熙半导体有限公司授权不得商用。

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