下载扫描电镜图像的补偿方法、装置及存储介质、扫描电镜的技术资料

文档序号:41513183

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本发明公开了一种扫描电镜图像的补偿方法、装置及存储介质、扫描电镜,该方法包括:根据扫描电镜对目标样品的扫描情况,通过电子束闸对到达目标样品的电子束进行通断控制;利用探测器分别得到电子束断开时产生的第一电信号和电子束导通时产生的第二电信号;根...
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