【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及图像处理，尤其涉及一种扫描电镜图像的补偿方法、装置及存储介质、扫描电镜。
技术介绍
1、扫描电镜在扫描样品获取样品的电镜图像数据时，在信号反向模式下所采集到的第一张图像前几行有亮度偏低的现象，在信号正向模式下所采集到的第一张图像前几行有亮度偏高的现象。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种扫描电镜图像的补偿方法，解决扫描电镜在刚开始扫描作业时图像采集效果存在异常的问题。
2、本专利技术的第二个目的在于提出一种扫描电镜图像的补偿方法。
3、本专利技术的第三个目的在于提出一种计算机可读存储介质。
4、本专利技术的第四个目的在于提出一种扫描电镜。
5、为达到上述目的，本专利技术第一方面实施例提出一种扫描电镜图像的补偿方法，所述扫描电镜包括电子束闸和探测器，所述方法包括：根据所述扫描电镜对目标样品的扫描情况，通过所述电子束闸对到达所述目标样品的电子束进行通断...
【技术保护点】
1.一种扫描电镜图像的补偿方法，其特征在于，所述扫描电镜包括电子束闸和探测器，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的扫描电镜图像的补偿方法，其特征在于，所述扫描电镜的扫描方式为不断重复地向一个方向扫描获取一行一行的扫描电镜子图像，所述根据所述扫描电镜对目标样品的扫描情况，通过所述电子束闸对到达所述目标样品的电子束进行通断控制，包括：
3.根据权利要求2所述的扫描电镜图像的补偿方法，其特征在于，以第一预设频率采集所述第一电信号，以第二预设频率采集所述第二电信号，所述第一预设频率大于所述第二预设频率。
4.根据权利要求3所述的扫描电镜...
【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜图像的补偿方法，其特征在于，所述扫描电镜包括电子束闸和探测器，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的扫描电镜图像的补偿方法，其特征在于，所述扫描电镜的扫描方式为不断重复地向一个方向扫描获取一行一行的扫描电镜子图像，所述根据所述扫描电镜对目标样品的扫描情况，通过所述电子束闸对到达所述目标样品的电子束进行通断控制，包括：
3.根据权利要求2所述的扫描电镜图像的补偿方法，其特征在于，以第一预设频率采集所述第一电信号，以第二预设频率采集所述第二电信号，所述第一预设频率大于所述第二预设频率。
4.根据权利要求3所述的扫描电镜图像的补偿方法，其特征在于，
5.根据权利要求3或4所述的扫描电镜图像的补偿方法，其特征在于，所述根据所述第一电信号和目标偏置值对与所述第一电信号相邻所述第二电信号进行补偿，包括：
6.根据权利要求2所述的扫描电镜图像的补偿方...
【专利技术属性】
技术研发人员：王丹仪，吴泽锋，唐骐杰，曹峰，张伟，贺羽，
申请(专利权)人：国仪量子技术合肥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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