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一种CdTe薄膜电池曝光设备用于UV点光源发射的UV光线透过将要形成的P1线槽区域的光刻胶对CdTe薄膜电池从下往上曝光，CdTe薄膜电池曝光设备包括UV点光源、凸透镜以及光罩；UV点光源位于凸透镜的下方且位于凸透镜的焦点上；凸透镜用于将U...
该专利属于江苏先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏先导微电子科技有限公司授权不得商用。

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