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本技术涉及密封门板组件技术领域，具体的说是干刻蚀设备腔体用密封门板组件，包括干刻蚀设备主体和挡板，所述挡板的板壁处安装有防护机构，所述防护机构由凹形框、横板、把手、紧固螺栓、滑槽和螺纹孔组合构成，所述挡板的板壁处焊接有凹形框，所述凹形框的框...
该专利属于浙江圆通新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江圆通新材料有限公司授权不得商用。

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