【技术实现步骤摘要】
本技术涉及密封门板组件，具体涉及干刻蚀设备腔体用密封门板组件。
技术介绍
1、刻蚀均匀性是刻蚀制程的一项重要技术指标，制程温度的均匀性，制程气体供应的均匀性，腔体的结构构造等都会对其产生影响，但是这些影响因子互相影响，情况复杂，需要根据产品型号的不同实时调节这些参数，来使得刻蚀均匀，现有的干刻蚀设备在进行密封时，通常使用挡板密封，挡板密封时往往为了观察腔体内物品，通常在挡板处设置玻璃板，然而玻璃板设置在挡板处后，在不使用干刻蚀设备时，玻璃板容易受到外部碰撞造成损坏。为此，我们提出干刻蚀设备腔体用密封门板组件。
技术实现思路
1、针对现有技术中的问题，本技术提供了干刻蚀设备腔体用密封门板组件。
2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是干刻蚀设备腔体用密封门板组件，包括干刻蚀设备主体和挡板，所述挡板的板壁处安装有防护机构，所述防护机构由凹形框、横板、把手、紧固螺栓、滑槽和螺纹孔组合构成，所述挡板的板壁处焊接有凹形框，所述凹形框的框内壁处开设有连接横板的滑槽，所述滑槽的槽内壁处活动...
【技术保护点】
1.干刻蚀设备腔体用密封门板组件，其特征在于，包括干刻蚀设备主体(1)和挡板(3)，所述挡板(3)的板壁处安装有防护机构(2)，所述防护机构(2)由凹形框(201)、横板(202)、把手(203)、紧固螺栓(204)、滑槽(205)和螺纹孔(206)组合构成，所述挡板(3)的板壁处焊接有凹形框(201)，所述凹形框(201)的框内壁处开设有连接横板(202)的滑槽(205)，所述滑槽(205)的槽内壁处活动连接有横板(202)，所述横板(202)的板壁处焊接有把手(203)，所述凹形框(201)的框壁处螺纹连接有可转动的紧固螺栓(204)，所述横板(202)的板壁处开...
【技术特征摘要】
1.干刻蚀设备腔体用密封门板组件，其特征在于，包括干刻蚀设备主体(1)和挡板(3)，所述挡板(3)的板壁处安装有防护机构(2)，所述防护机构(2)由凹形框(201)、横板(202)、把手(203)、紧固螺栓(204)、滑槽(205)和螺纹孔(206)组合构成，所述挡板(3)的板壁处焊接有凹形框(201)，所述凹形框(201)的框内壁处开设有连接横板(202)的滑槽(205)，所述滑槽(205)的槽内壁处活动连接有横板(202)，所述横板(202)的板壁处焊接有把手(203)，所述凹形框(201)的框壁处螺纹连接有可转动的紧固螺栓(204)，所述横板(202)的板壁处开设有与紧固螺栓(204)连接的螺纹孔(206)。
2.根据权利要求1所述的干刻蚀设备腔体用密封门板组件，其特征在于，还包括锁紧机构(5)，所述挡板(3)的板壁处安装有锁紧机构(5)。
3.根据权利要求2所述的干刻蚀设备腔体用密...
【专利技术属性】
技术研发人员：田志扬，
申请(专利权)人：浙江圆通新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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